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中科院公布国产光刻机技术进展状况,高端光刻机很快来了

2021-09-08 发布于 安格拉商贸网
秋霞 http://www.cqqlxj.com

  中国科学院官网公布了光刻技术的重要进展,看了以后我很高兴,该项成果由中科院所属的上海光机所负责,目前依据该技术进行的仿真实验表现非常好。

  

  被称为中国“最强光”的上海光机所很多人不熟悉,它是我国建立最早、规模最大的激光技术研究所。在职人员中有7位院士,973计划项目及重大研究计划首席科学家3人,其他级别的顶尖科学家更是为数众多,神光Ⅱ等超强超短激光装置国际上也为数不多。上海光机所的名字以前都是数字代号,对外联络时单位名称都是代码,你可想而知这个所的地位。

  

  此次的光刻技术取得了怎样的重要进展呢?光刻是芯片制造的关键技术,光刻分辨率决定了集成电路的尺寸。因此,光刻成像质量就非常重要。为了提高成像质量,光刻系统中采用了OPC技术,也就是“快速光学邻近效应修正技术”。而上海光机所正是通过基于虚拟边与双采样率像素化掩模图形的OPC技术,大幅提高成像质量。简单地说,就是在光刻机软硬件不变的情况下,可以通过该技术大幅提高光刻分辨率。

  

  国内的华为等企业因光刻机在芯片问题上受阻已经两年多了。国内的光刻技术也一直没有进展。而中科院此次的消息无疑很振奋人心。虽然不能一蹴而就,但是每一个进步我都感到兴奋,很喜欢上海光机所的一句标语:与光同行志报国。

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